后处理时间均衡
可在保证最高吞吐率的同时，将相邻集群工具之间的晶圆后处理时间差异降至最低。
朱清华 · Bin, Li · 侯艳 · HongPeng, Li · Wu, Naiqi
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica 2023
所提出的调度算法在最小化总后处理时间的同时，仍能实现最高吞吐率。
通过线性规划模型和另一算法，可平衡任意相邻集群工具之间的后处理时间差异。
算法具有多项式时间复杂度，可高效求解大规模问题。