打破双臂调度局限
该调度模型突破了以往基于交换策略和模块绑定区域的限制，适用于具有驻留时间约束的双臂多集群工具，并能直接推广到单臂工具。
李鑫 · 卢超
IEEE Robotics and Automation Letters 2024
不再限制于交换策略，可搜索更一般的双臂操作序列，覆盖此前不可调度的实例。
统一处理工艺受限与传输受限区域，无需分别建模，直接给出全局最优调度。
同一MILP模型可直接用于单臂工具及混合配置，无需为不同机械手类型开发专用算法。
通过最小化总后处理时间，缩短晶圆在工艺模块中的额外滞留，降低质量风险。