双谐振驱动静电探针

测量误差优于0.5%

采用双谐振驱动结构,显著提升振动稳定性与测量精度,并实现了探针介入前的表面电势反演。

孙昊 · 刘轩东 · Yue, Zhao

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025

参数信息

测量误差
0.5 %

技术优势

测得更准

新振动结构与双谐振器共振驱动显著提升了稳定性与精度,测量误差优于0.5%。

能反演真实表面电位

提出基于环形区域电荷的反演方法,可计算探针介入前的初始电位,消除探针对电荷积累的干扰。

应用场景