81 ppb 检测限
双增强光声激发与检测结构降低空气阻尼效应，突破传统悬臂梁和薄膜的机械小型化限制。
Li, Chenxi · Yajie, Zhang · Guo, Min · Qi, Hongchao · 彭伟 · 陈珂
ACS Sensors 2026
嵌入式结构增大了内腔体积，降低了悬臂梁共振时的空气阻尼效应，使得声学灵敏度达到 3115 nm/Pa。
高灵敏度声学探测使得甲烷检测限达到 81 ppb（60 s 积分时间），适用于痕量气体检测。
系统响应时间仅为 20 s，能够快速检测气体浓度变化。
归一化噪声等效吸收（NNEA）系数达到 5.7 × 10⁻⁹ cm⁻¹ W/Hz^1/2，表明传感器具有优异的灵敏度与噪声特性。