误差响应模型偏振校准方法

残差降至 0.16 %

一种不依赖单误差项高精度标定、能全局解耦多个误差源并迭代优化的偏振检测校准法。

Haonan, Zhang · Ziliang, Yan · Sun, Haifeng · 王健 · 胡松 · Jin, Chuan

Optics Communications 2026

参数信息

Stokes 参数校准误差

<0.16 %

技术优势

全局解耦多误差

建立统一误差矩阵并迭代优化，避免逐项高精度校准，降低校准复杂度。

残差降至0.16%

校准后 Stokes 参数误差从 4.64% 降至 0.16% 以下，显著提升测量精度。

应用场景

• 投影光刻成像质量：高数值孔径投影光刻采用偏振照明，精确偏振校准有助于提高成像质量。
• 偏振测量系统：为转波片法等偏振检测系统提供无需逐项高精度标定的全局校准方案。