失效快速清空
在处理模块失效时，通过最优调度缩短晶圆清空时间，避免死锁并满足驻留时间约束。
朱清华 · 元俊 · Wang, Genghong · 侯艳
IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2023
通过优化机器人任务序列，可显著缩短失效后清空工具所需的时间。
在模块失效时，该方法能减少因驻留时间违反导致的在制品晶圆报废。
通过分析机器人活动同步条件，确保在共享缓冲模块中不发生死锁。
所提出的非线性规划模型能够统一处理不同的处理模块失效情景。