干涉增强显微视觉

五自由度同步测

单次成像即可同步解算超精密旋转轴的径向、轴向与倾斜误差,无需多传感器分步测量,测量路径与误差传播环节同时减少。

Jie, Yang · Dingkun, Meng · Zhou, Rongjing · 黄鹏 · To, S. · 朱利民 · Zhu Z.

International Journal of Machine Tools and Manufacture 2024

参数信息

测量自由度
5
旋转速度
308.33 rpm

技术优势

单次成像测全五自由度

将径向、轴向和倾斜误差运动合并进单一光路,从一张二维图像中同时解算所有分量,避免多传感器分步测量带来的误差传递和耗时。

同步误差对转速不敏感

在8.33、108.33和308.33 rpm三种转速下测得的同步误差几乎相同,表明该方法在不同工作速度下具有稳定一致的测量结果。

超高分辨率

利用图像中的大容量边缘和灰度数据进行最小二乘拟合,即使相机像素较大、位深较低,也能实现超高测量分辨率。

应用场景