集群工具调度算法

非周期调度零中断

针对带设备前端模块的单臂集群工具，通过深度强化学习优化多类型晶圆入料顺序，提升生产率。

Yiming, Lai · Qiao, Yan · Liangchao, Chen · He, Yunfang · Zhang, Siwei · Li, Jie · Tan, Li

Advanced Engineering Informatics 2026

技术优势

不会闲置

通过高效调度策略，工具在任何情况下都不会中断运行，机器人始终执行任务。

应用场景

• 晶圆制造设备：晶圆制造设备可通过该调度算法提高设备利用率，适用于刻蚀、沉积等工艺。
• 半导体智能制造：该深度强化学习方法支持多类型晶圆调度，有助于半导体制造智能化升级。
• 具身智能机器人：调度算法可部署于集群工具中的机械臂，协调双臂协作与晶圆搬运。