挤压膜阻尼振动传感器

振动解耦误差降67%

通过信号调节器校正传感器输出，解决与AFM频率响应差异导致的振动解耦误差，实现原子力显微镜成像的实时振动噪声去除。

Zhai, Shenghang · 施佳林 · 玉鹏 · Yang, Tie · Xiaoqiang, Du · Yang, Yang · Chanmin, Su · 刘连庆

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

均方根减除误差

0.32 nm

减除误差降低量

-9.7 dB

信号调节器延迟

20 μs

技术优势

成像分辨率提升

实时减除振动噪声后，光栅和硅样品图像中的噪声有效降低，结构尺寸和表面粗糙度测量更准确。

减除误差降三分之二

信号调节器显著缓解了传感器与AFM之间的频率响应差异，均方根减除误差从0.98 nm降至0.32 nm，降低约67%。

实时在线处理

信号调节器延迟约20 μs，能够实时解耦振动噪声，无需后处理。

应用场景

• 原子力显微镜：实时去除振动噪声，提升大样品成像分辨率，保障半导体与光学制造中的形貌测量精度。
• 半导体量测：改善关键尺寸和表面粗糙度的测量准确性，减少环境振动对量测结果的干扰。
• 精密光学制造：降低振动引起的成像噪声，有助于精密光学元件表面质量的检测与评估。
• 振动噪声抑制：提供高分辨率非接触式振动测量与解耦方案，可用于其他精密测量设备。