抗磁悬浮加速度计

紧凑高灵敏

用抗磁悬浮加电容位移检测，把加速度计做小，还能保持高灵敏度，适合空间受限的地方。

徐园平 · 王泽宇 · Yang, Lu · Yang, Wang · 周瑾 · Hanchao, Sun · Yongwen, Li

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

参数信息

灵敏度

0.29 pF/g

总体积

12.0 cm³

带宽

3.0–6.0 Hz

技术优势

体积足够小

整体结构仅 12.0 cm³，能装进空间要求严格的系统，解决了传统抗磁悬浮加速度计体积过大的问题。

保持高灵敏度

在小型化的同时灵敏度达到 0.29 pF/g，带宽覆盖 3.0–6.0 Hz，没有为体积牺牲性能。

检测手段新

加入电容位移探头来检测石墨片的轴向位移，替代传统光学或电磁手段，使结构更紧凑。

应用场景

• 精密仪器的惯性测量：给精密仪器做高灵敏、小体积的加速度测量，替代传统大尺寸传感模块。
• 机械系统的振动监测：用于机械系统振动监测，在有限空间内检测低频振动信号。
• 医疗机器人的姿态感知：集成到医疗机器人中做姿态感知，利用其小体积和合适带宽。
• 无人机的惯导单元：用作无人机惯导单元的加速度计，减轻重量和占用空间。