圆柱环形反射镜位移传感器

重复性优于0.02%

用圆柱环形反射镜取代传统三角法光路，从根源上消除激光抖动引起的椭偏误差。

Jiaqi, Li · 陶卫 · 赵辉

Photonics 2023

参数信息

重复性误差

<0.02 %

技术优势

测量精度高

实测重复性误差低于0.02%，显著优于传统三角法传感器。

位移输出线性好

位移测量结果呈线性，便于直接标定和使用。

结构更简单

相比此前提出的旋转对称三角法传感器，光路设计更简单，降低了装调难度。

应用场景

• 精密位移测量：替代受激光抖动影响的传统三角法传感器，提升亚微米级位移测量稳定性。
• 机械加工在线检测：高重复性位移监测可直接嵌入机加工在线检测，提供稳定的反馈信号。
• 3D打印表面形貌测量：线性输出便于整合到3D打印表面形貌扫描中，保证在线测量精度。
• 结构健康监测：长期重复性误差低，使结构微小位移的连续监测数据更可靠。