利用贝塞尔光束在石英玻璃中形成纳米多孔结构,实现1 mm厚度单次高质量切割,显著提升激光加工行业的质量与效率。
Lei, Xiong · Yuhang, An · 张玲 · Cheng, Tang · Tianci, Zhang · Zuo, Aibin · Gao, Wenyan
Photonics 2025
通过贝塞尔光束在石英玻璃内形成纳米多孔结构,克服了以往仅能切割200 μm薄玻璃的限制。
通过优化切割速度和脉冲宽度,显著降低了切割截面粗糙度,提高了切割质量。
最佳参数下可降低表面损伤和溅射,有利于获得更洁净的切割表面。