半球谐振器

品质因数达2.01×10⁷

去除亚表面损伤后，半球谐振器的品质因数从数十万提升至2.01×10⁷，均匀性达1.2%，用于高精度半球谐振陀螺。

Chuanzhen, Ma · Liu, Henan · 陈明君 · 程健 · Tian, Jinchuan · Qin, Biao · Jiangang, Sun · Zihan, Zhou · Jingyang, Guo

International Journal of Mechanical Sciences 2025

参数信息

均匀性

1.2 %

技术优势

批量一致性好

品质因数均匀性达1.2%，确保不同器件间性能稳定。

加工机理清晰

揭示了亚表面损伤去除的三个阶段，并建立了损伤深度与表面粗糙度的非线性回归模型，为快速去除损伤提供理论依据。

应用场景

• 高精度陀螺仪：用超高Q值谐振器替代现有件，提升陀螺仪精度和稳定性。
• 惯性导航：核心传感元件性能提升，增强导航系统的长期可靠性。
• 光学精密加工：将磁流变抛光工艺用于熔石英光学元件，实现高表面完整性加工。