ppb级吡啶检测
通过优化波导宽度和聚合物包层厚度增强倏逝场,实现对吡啶蒸气的高灵敏检测。
赵克 · Dong, Lianghai · Zheng, Youbin · Deng, Guowei · Li, Zhonghui · Shiwei, Qu · 陈开鑫 · 吴杰云
Sensors and Actuators, B: Chemical 2023
通过优化波导宽度与敏感包层厚度,增强倏逝场与待测物相互作用,从而将吡啶检测灵敏度提高到63 pm/ppm,检测限低至476 ppb。
采用硅基氮化硅波导,可利用成熟CMOS工艺制造,便于片上集成和批量生产。
通过理论优化波导宽度和敏感包层厚度来调节群折射率和倏逝场,实现传感器性能的可预测设计。