70 MPa高精度万分级
采用双谐振器微梁支撑结构实现温度自补偿，能够进行体积压缩传感，在宽温宽压范围内保持高精度测量。
Yu, Zongze · Pan, Qian · Lu, Yulan · Xie, Bo · 陈德勇 · 王军波 · 陈健
Microsystems and Nanoengineering 2025