平面并联微机械手

压电驱动精准操控

融入柔性铰链多向误差与压电非线性特性的综合模型，解决了微机械手建模精度不足的问题，并提供实验结果支持。

林剑锋 · 齐臣坤 · 高峰 · Yue, Yi · Hu, Yan · 韦宝琛 · Yue, Yi

Journal of Mechanisms and Robotics 2023

参数信息

平均精度提升（平移方向）

26.35 %

平均精度提升（旋转方向）

27.49 %

技术优势

建模更准

综合非线性模型纳入柔性铰链多向误差和压电非线性，平均精度较理想运动学模型提升超 26%。

更接近真实

模型考虑固有力和力矩等实际物理特性，输出位姿预测更贴合真实内部行为。

适用更广

该建模方法可推广到其他类型的柔性微机械手，不止局限于本研究中的平面并联机构。

应用场景

• 微纳操作机器人：为微操作机器人提供更精确的运动学模型，提升操控精度。
• 精密运动控制：该模型可嵌入控制器，实现压电驱动微机械手的精密运动控制。
• 微机电系统：该建模方法适用于 MEMS 中的柔性机构，改善微系统建模精度。
• 微纳制造设备：可为微纳制造设备中的运动平台提供高精度模型，提高定位准确性。
• 柔性机构设计：该模型考虑柔性铰链多向误差，可为柔性机构设计提供精确分析工具。