PEI-SnO2-MWCNT功能化CMUT甲醛传感器

亚ppm检测限

通过PEI-SnO2-MWCNT敏感材料功能化CMUT芯片，该传感器在便携式气体检测中实现了高灵敏度和选择性。

Zhao, Yihe · 王通 · Ehsan, Kiani Harchegani · 李劼 · 李敏 · Yuan, Jiawei · Li, Zixuan · 杨平 · 卢德江 · Li, Zhikang · 赵立波

ACS Sensors 2026

参数信息

灵敏度

95.5 Hz·ppm⁻¹

检测限

250 ppb

技术优势

亚ppm级检测限

传感器检测限达到250 ppb，低于WHO推荐的0.1 mg·m⁻³（约80 ppb）的室内甲醛指导值，能够满足法规要求。

高灵敏度

在1-20 ppm浓度范围内灵敏度为95.5 Hz·ppm⁻¹，可用于宽动态范围的定量检测。

便携化潜力

基于MEMS的CMUT芯片尺寸小，结合旋涂功能化工艺，有望实现轻量级、可现场使用的甲醛传感器，摆脱实验室依赖。

应用场景

• 环境监测：用于现场快速筛查大气中的甲醛浓度。
• 气体传感：提供高灵敏度谐振式气体传感方案。
• MEMS传感器：拓展CMUT在气体检测中的功能化应用。
• 室内空气质量检测：检测限满足WHO室内甲醛指导值要求。
• 化工安全：可在化工生产场所进行甲醛泄漏监测。