组合镜CTE测量仪

纳米级分辨 3.8%内误差

低温化学键合固定样品,相位补偿消除歧义,真空相移腔抑制干扰,实现超低膨胀材料热膨胀系数的高精度测量。

Luojia, Zhang · 王小坤 · Wang, Yukun · Junwei, Song · Liu, Zhongkai · Wenhan, Li · Bin, Liu · Nie, Jiucheng · 薛栋林 · 张学军

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

设备不确定度
2.4e-9
最大测量误差
3.8 %
单温度相位波动
0.75 nm
真空腔温度波动
0.05 °C

技术优势

相位无歧义

优化相位补偿方法,消除了由测量镜长度引起的相位歧义,保证测量结果唯一。

环境干扰小

真空相移腔设计显著降低环境干扰,实验中温度波动≤0.05°C、压强约100 Pa。

结果可靠

与推杆法对比,最大测量误差3.8%,设备不确定度2.4×10⁻⁹,验证了系统可靠性。

应用场景