恒流隔离谐振逆变器

负载宽变输出恒流

该逆变器通过耦合电感实现电气隔离，在宽负载范围内无需闭环控制即可输出恒定交流电流，同时实现开关管低电压应力和零电压开通。

Cheng, Yi · Jingbo, Cui · 管乐诗 · Yao, Tingting · Yijie, Wang · 徐殿国

IEEE Transactions on Power Electronics 2026

参数信息

输出电流

2 A

技术优势

开环恒流

负载从 1 Ω 到 25 Ω 变化时，输出交流电流保持在 2 A，无需闭环控制，简化了系统。

零电压开通

开关管实现零电压开通，降低开关损耗和电压应力。

应用场景

• 等离子体射频电源：负载变化时无需调节即可保持恒流输出，简化等离子体工艺控制。
• 感应耦合等离子体：该逆变器专为感应耦合等离子体设计，可直接驱动负载。
• 半导体制造设备：为半导体刻蚀、沉积等工艺提供稳定的射频功率。