激光损伤抗性修复
通过湿法刻蚀钝化并合并表面损伤，将损伤形貌转变为椭球形，从而提升蓝宝石元件的激光损伤抗性。
Su, Zhipeng · 梁志强 · Yue, Ma · Du, Yuchao · Lin, Guo · 赵彬 · 周天丰 · 王西彬
Ceramics International 2024
刻蚀后损伤被钝化并合并，表面转变为椭球形特征，LIMF值最小，激光损伤抗性最优。
湿法刻蚀可在常温下进行，无需昂贵设备，且修复后的元件可直接用于光学系统。
该修复方法对裂纹和划痕均有效，通过钝化和合并消除应力集中，提高抗损伤能力。