SU8隔热波导

灵敏度提升16倍

采用硫系玻璃芯层和SU8隔热设计，将光热相位调制提升两倍，实现芯片级高灵敏度气体检测。

Zheng, Kaiyuan · Pi, Mingquan · Huang, Yijun · Peng, Zihang · Zhao, Huan · Song, Fang · Bao, Haihong · Jiang, Shoulin · Hoi Lut, Ho · 郑传涛 · Jin, Wei · 张予曦 · 王一丁

Laser and Photonics Reviews 2024

参数信息

灵敏度
4 ppm
动态范围
5 orders of magnitude
光热相位调制提升倍数
2 fold

技术优势

灵敏度高16倍

与直接吸收光谱相比，光热光谱利用气体分子的非辐射弛豫产生相位调制，信噪比更高，对乙炔的检测灵敏度达到4 ppm，是直接吸收光谱的16倍。

动态范围大3个量级

光热光谱技术不受吸收饱和限制，动态范围跨越5个数量级，比直接吸收光谱约宽3个数量级，可同时检测高浓度和低浓度气体。

热隔离让信号翻倍

采用SU8作为热隔离层替代传统的SiO2，减少了热扩散，使光热相位调制提升2倍，从而提高检测灵敏度。

应用场景