光子跳台式纳米波导

50倍斑点速率

一种单片集成在压电悬臂上的纳米波导，被动卷曲约90°出平面，实现从芯片到自由空间的可扩展二维光束扫描。

Wen, Y. Henry · Greenspon, Andrew S. · Zimmermann, Matthew · Palm, Kevin J. · Witte, Alex · Goh, Yinmin · Dong, Mark · Leenheer, Andrew J. · Clark, Genevieve · Gilbert, Gerald N. · Eichenfield, Matt · Englund, Dirk R. · ORecord 科技单元

Nature 2026

具体参数

足迹调整斑点速率

{'zh': '68.6', 'en': '68.6'} Mspots s⁻¹ mm⁻²

像素扫描演示

{'zh': '1000000', 'en': '1000000'} pixels

技术优势

斑点速率超50倍

足迹调整斑点速率达到68.6兆斑点/秒/平方毫米，比最先进MEMS镜面高出50多倍，从而实现从约1.5毫米直径的紧凑面积中提供100 Hz、百万像素的扫描能力。

衍射极限光束

器件发射亚微米尺寸、宽带衍射极限光束，保证了扫描过程中的高模式质量，解决了光子集成电路方法的光束质量缺陷。

CMOS代工兼容

在量产型CMOS代工厂制造，意味着可以低成本大规模生产，无需特殊工艺，且器件可在CMOS级电压下谐振驱动。

应用场景

• 激光雷达：紧凑固态光束扫描替代传统机械旋转或MEMS镜面，实现高分辨率、高帧率三维成像。
• 全彩投影显示：宽带衍射极限光束直接扫描形成全彩图像，无需成像镜头即可投影。
• 光子集成电路：为光子集成电路提供紧凑、高性能的芯片到自由空间输出接口，实现可寻址光束。
• 量子信息接口：衍射极限光束用于初始化并读出金刚石中硅空位色心的单光子态，连接集成光子处理器。