碳纳米管波导光电探测器

带宽超67 GHz

在氮化硅平台上实现1.55与2 μm双波段高速探测，CMOS兼容且暗电流极低，突破传统探测器在2 μm波段的性能瓶颈。

Zhang, Haoyu · 赵鸿雁 · 李珈仪 · Zihan, Yang · Wu, Weifeng · 何浩 · 王辉 · 罗晓 · Hu, Yiling · 刘志鹏 · 成步文 · 郑君 · Chang, Lin · 侯士敏 · 王胜

ACS Nano 2026

参数信息

3 dB带宽

>67 GHz

3 dB带宽

>67 GHz

暗电流

80 nA

响应度

0.41 A/W

技术优势

2 μm波段高速

在2 μm波段实现了超过67 GHz的带宽，突破了传统探测器在该波段的瓶颈。

带宽飞跃

相比此前该光谱区域报道的光电探测器，带宽有显著提升，为高速光互连奠定基础。

CMOS兼容

基于SiNx波导平台，兼容现有CMOS工艺，可集成到大规模光电集成电路中。

应用场景

• 高速光通信：为高速光互连提供超过67 GHz带宽的探测器，支撑下一代数据传输。
• 光电集成芯片：与CMOS工艺兼容，可集成到大规模光电集成电路中，提升整体性能。
• 硅基光子学：在SiNx波导平台上实现高速探测，推动硅基光电子在通信波段的应用。
• 2 μm波段光通信：突破传统探测器在2 μm波段的限制，实现高带宽和低暗电流。