广义最优调度方案

适用于单臂/双臂集束型设备、含可重入与驻留时间约束的通用最优调度方法,突破传统反向与交换策略,调度更灵活且性能更优。

李鑫

IEEE Transactions on Systems, Man, and Cybernetics: Systems 2024

技术优势

统一处理单双臂

不再分别针对单臂和双臂集束型设备单独建模,用一个模型同时覆盖两类设备,降低部署复杂度。

调度更灵活

消除了只考虑反向和交换策略的限制,允许所有可行的机器人移动序列,从而获得更灵活的操作方案。

支持可重入工艺

模型显式包含可重入加工流程,适用于需要晶圆多次访问同一模块的先进工艺。

性能优于已有方法

在演示算例中,所提方法得到的调度结果优于现有文献中的方案。

应用场景