压电驱动器

四级放大倍率高

该压电驱动器通过四级放大机构实现大行程，结构相对简单，适合需要高速度和高效率的精密驱动应用。

徐冬梅

Review of Scientific Instruments 2025

参数信息

最大驱动速度

11.34 mm/s

分辨率

120 nm

最大负载能力

0.25 N