中空式XY压电定位平台

39mm见方载1kg

中空结构在相同体积内提供通光孔径，可直接集成到显微检测光路中，面向微型电子元件的精密定位与分拣。

Lusheng, Yuan · 王亮 · Rui, Qi · Zhenhua, Zhao · 金家楣 · Chunsheng, Zhao

International Journal of Mechanical Sciences 2023

参数信息

X轴行程

30.76 μm

Y轴行程

29.79 μm

X轴交叉耦合

2.02 %

Y轴交叉耦合

2.26 %

X轴滞后率

5.48 %

Y轴滞后率

5.56 %

X轴位移分辨率

<29.3 nm

Y轴位移分辨率

<31.4 nm

技术优势

光路直穿，不用偏置安装

平台中央 29 mm×29 mm 的通孔让照明光或探针直接穿过平台，显微检测时摄像头和样品可以同轴布置，不必把平台挪到光路侧面。

空间利用率高，台面更小

三级柔性杠杆和中空结构把整机控制在 39 mm×39 mm×40 mm、60.12 g，比同类平台更紧凑，更容易装进有限的工作空间。

带 1 kg 负载还能走轨迹

实测装上模拟激光发生器负载后仍能走出方形和椭圆轨迹，说明执行显微检测时不必把负载拆掉或降额使用。

应用场景

• 精密定位：在光路中做纳米级定位，不用让光路绕开平台。
• 微操作：带载 1 kg 抓取微器件，不牺牲运动精度。
• 显微检测：样品和镜头同轴布置，在视野内完成检测与分拣。