柔性光栅双波长扫描显微镜

双波长快速多线扫描

通过机械拉伸柔性光栅实现扫描，避免传统扫描振镜的复杂性，成像分辨率高。

Yanwei, Fu · Wanzhuo, Ma · Shikun, Hao · Bing, Li · 刘治 · 姜会林

Optics and Laser Technology 2026

具体参数

扫描面积

{'zh': '33.4 × 49.1', 'en': '33.4 × 49.1'} μm²

调制传递函数（1064 nm照明）

{'zh': '616', 'en': '616'} lp/mm

调制传递函数（1550 nm照明）

{'zh': '424', 'en': '424'} lp/mm

光栅周期

{'zh': '3', 'en': '3'} lp/mm

占空比

{'zh': '0.5', 'en': '0.5'}

槽深

{'zh': '475.12', 'en': '475.12'} μm

技术优势

光路更简单

用柔性光栅的机械拉伸代替振镜，省去了振镜及其驱动电路。

双波长可用

同一系统在1064 nm和1550 nm下均能成像，MTF超过0.1，适用于不同光源。

分辨率高

照明光路MTF在1064 nm下达到616 lp/mm，表明系统具有高空间分辨率。

应用场景

• 工业检测：用于产线快速扫描工件表面缺陷，替代振镜扫描系统。
• 材料表面检测：检测材料表面微观形貌和缺陷，无需复杂光路。
• 反射成像：获取样品反射图像，双波长可选以适应不同材料。
• 荧光显微成像：扩展至荧光成像，适用于生物样品的高分辨率观察。