4μm×3.2μm 实现大范围调相
该移相器通过逆向设计在极小的尺寸内实现了大范围的相位差调节，为解决片上级联器件的尺寸瓶颈提供了一种高效且紧凑的解决方案，适用于高集成度的波束扫描系统。
张锦南
Sensors 2024