光栅超表面

衍射光更纯净

这种光栅采用反直觉的表面形貌设计，使高衍射级下的杂散光显著低于现有器件，为计量和光谱分析提供了绝佳的信噪比基础。

Shengquan, Nian · Andong, Xie · 刘世杰 · 陆奇 · 晋云霞 · 韩志刚 · 邵建达 · 朱日宏

Optics Communications 2026

参数信息

级衍射效率比现有最优器件高

2.3 %

技术优势

高角度散射的杂散光比同类产品低两个数量级

在1480线/毫米密度下表面均方根粗糙度仅1.2纳米

应用场景

• 高精度光学计量：用更低的杂散光提高衍射信号纯度，从而提升关键尺寸测量精度。
• 拉曼光谱分析：作为分光元件时抑制高角度背景，使拉曼峰更清晰易辨。
• 光学显微镜校准：提供可重复的纳米级周期结构，用于校准成像系统的倍率和畸变。
• 纳米结构表征：以低散射表面质量减少干扰，帮助准确表征周期纳米结构的形貌。