近表面跟踪部件

扫码切换省87%

将探针抬升/下降距离从约1 mm缩短到5 μm，利用挤压空气膜阻尼效应实现高速扫描点切换，大幅提升AFM测量效率。

Zhai, Shenghang · 施佳林 · 玉鹏 · Shi, Huiyao · Wang, Kaixuan · Su, Chanmin · 刘连庆

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

参数信息

to s

87 %

降距离从

约1 mm

技术优势

兼容现有大气AFM

该快速切换方法可提升现有在大气中工作的AFM的测量效率，无需更换整机。

应用场景

• 半导体检测：加速晶圆表面形貌检测的逐点扫描，提高产线测量吞吐量。
• 原子力显微镜：直接升级现有大气AFM的扫描切换，无需改动硬件即可提升效率。
• 振动传感：利用挤压膜阻尼效应对距离变化的高灵敏度，实现微小振动检测。
• 温度漂移测量：通过监测间隙变化引起的阻尼变化，间接测量温度漂移。