红外调制显微PL系统

微区分辨率~2 μm

将红外光致发光光谱的空间分辨率提升至微米量级，用于窄带隙半导体微结构和缺陷的表征。

陈熙仁 · 邵军

Review of Scientific Instruments 2024

具体参数

空间分辨率

约2 μm

functional wavelength range

22 μm