非接触光电检测装置

免探针测Mini-LED

借助光伏效应与电磁耦合，用激光激发与锁相放大在闭环中无损伤地提取微型LED的I-V特性与反向饱和电流，并提升合格裸片检测准确性。

Zhong, Chenming · Guo, Weijie · Zhu, Lihong · 陈国龙 · Yang, Xiao · 范小通 · 林岳 · Chen, Zhong · Yi-Jun, Lu

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

技术优势

不伤电极

基于光伏效应和电磁耦合理论，采用激光激发和锁相放大检测，整个过程中无需接触LED，完全避免了探针造成的机械损伤。

KGD检测更准

该方法能提取反向饱和电流等关键参数，增强了合格裸片（KGD）检测的准确性，克服了传统光致发光法在KGD检测中的误差。

一次测多个参数

单次测量即可同时得到I-V关系、反向饱和电流等多项关键光电特性，无需分别进行多项测试。

应用场景

• Micro-LED显示制造：用于Mini-LED显示面板制造中的非接触在线检测，避免探针损伤，提高良率。
• 半导体器件检测：提供一种无损伤的半导体器件电学特性测试手段，替代传统接触探针测试。
• 光电器件质量控制：用于光电器件生产中的质量筛选，尤其适合微小尺寸器件的KGD检测。