柔性探针阵列

晶圆级无损测试

自适应贴合芯片表面形貌，实现微米级LED晶圆的高通量无损电致发光检测。

Xinqin, Liao · 郭自泉 · 陈忠

Nature Electronics 2025

技术优势

不会损伤芯片

探针阵列自适应变形以匹配LED晶圆的表面形貌，避免接触损伤。

一次测一片晶圆

高通量检测允许对整片晶圆上的micro-LED进行快速电致发光测试。

应用场景

• micro-LED显示：对micro-LED显示屏的晶圆进行无损电致发光测试，筛选坏点。
• 晶圆测试：用柔性探针阵列对晶圆上所有micro-LED进行高通量电致发光检测。
• 微纳制造：制备柔性探针阵列需要微纳加工技术实现与芯片形貌匹配的结构。
• 半导体检测设备：该柔性探针阵列可作为半导体检测设备的关键部件，实现LED晶圆测试。