多通道可变形DETR缺陷检测网络

小目标缺陷检出更高

结合多通道可变形卷积与坐标注意力,提升对微型LED晶圆表面缺陷的检测能力。

Yuanda, Lin · 潘书万 · Jie, Yu · Yade, Hong · 王辅明 · 郑力新 · Tang, Jianeng · 陈松岩

Optics and Lasers in Engineering 2025

参数信息

mAP50
90.4 %
mAP50:95
62.8 %

技术优势

缺陷与背景更好区分

ALPE位置编码实现尺度内特征交互,增强了缺陷与背景的区分能力,尤其改善小目标检测。

复杂形状缺陷检出更准

MCDC模块增强了网络对复杂不规则形状缺陷的检测性能。

类别不均衡得到缓解

人工合成数据增强方法结合原始晶圆显微图像与人工生成的缺陷图像,解决了缺陷类型数量不均衡的问题。

性能超基线

在Mini-LED表面缺陷检测上,mAP50和mAP50:95分别达到90.4%和62.8%,超越基线网络2.6%和3.2%。

应用场景