晶圆级PtTe₂阵列

宽带太赫兹成像

采用一步碲蒸气转化与微纳工艺，首次实现2英寸晶圆级图案化PtTe₂阵列，电学一致性好，直接制为探测器阵列即可进行高分辨太赫兹透射成像。

Dong, Zhuo · Yu, Wenzhi · 张力波 · Yang, Liu · Huang, Luyi · 张岩 · Zeqian, Ren · Mu H. · Chen, Cheng · 张俊荣 · Li, Jie · 王林 · 张凯

InfoMat 2023

具体参数

电导率

{'zh': '2.7', 'en': '2.7'} 10⁵ S m⁻¹

带宽

{'zh': '0.02–0.3', 'en': '0.02–0.3'} THz

响应速度

{'zh': '4.7', 'en': '4.7'} μs

灵敏度

{'zh': '47', 'en': '47'} pW Hz⁻¹/²

技术优势

晶圆级制备

一步碲蒸气转化法实现2英寸晶圆级图案化PtTe₂阵列生长，为大规模集成提供基础。

电学一致性好

晶圆上阵列的电导率高度一致，保证了探测器阵列的性能均一性。

高速宽带探测

得益于狄拉克费米子机制，实现了0.02–0.3 THz宽带响应，速度可达4.7 μs。

成像灵敏度高

灵敏度达~47 pW Hz⁻¹/²，实现高分辨太赫兹透射成像，推动阵列成像实际应用。

应用场景

• 太赫兹成像系统：探测器阵列可直接用于高分辨太赫兹透射成像，替代传统单点扫描系统。
• 太赫兹探测器阵列：晶圆级PtTe₂阵列提供高性能、均一的探测器，简化阵列集成工艺。
• 宽带光电探测：覆盖0.02–0.3 THz，实现在室温下的宽带高速太赫兹探测。