谐振型砷化镓光电阴极

532nm吸收增强

通过法布里-珀罗谐振结构，将入射光在阴极内部多次反射，从而在532 nm波长处实现吸收增强，为水下光通信提供灵敏的光电探测器件。

Wenjian, Liu · Peng, Xie · Lixin, Zhang · Chang, Luo · Jiahao, Ouyang · Peng, Xincun · Zou, Jijun · Deng, Wenjuan · Linlin, Jiang

Materials Science in Semiconductor Processing 2026

参数信息

反射率

5 %

湿法腐蚀速率

350 nm/min

技术优势

吸收显著增强

法布里-珀罗谐振使光在阴极内多次反射，532 nm 处反射率低至 5%，大部分光被吸收。

工艺与仿真吻合

实验反射谱的峰位和极小值与仿真结果一致，证明工艺可控，有利于优化设计。

应用场景

• 水下无线光通信：利用 532 nm 增强吸收提升水下光通信探测灵敏度
• 弱光探测：低反射率使更多光子被吸收，提高弱光探测效率
• 光电探测：谐振结构可作为高响应光电探测器的阴极