腔体限制钆靶材

Wen, Zhilin; Xie, Zhuo; Qi-Jin, Zhang; Shaokang, Wang; Zhenwei, Pu; Song, Xiaowei; Dou, Yinping; Li, Bochao; Pan, Qikun; Chen, Fei; Zhao, Chongxiao; Yan, Xing; Lin, Jingquan

腔体限制钆靶材

光谱纯度4.35%

通过腔体限制靶材调节预形成等离子体，在双脉冲方案中实现比平面靶材更高的光谱纯度，且随延迟增加衰减缓慢。

Wen, Zhilin · Xie, Zhuo · Qi-Jin, Zhang · Shaokang, Wang · Zhenwei, Pu · 宋晓伟 · Dou, Yinping · Li, Bochao · 潘其坤 · 陈飞 · Zhao, Chongxiao · Yan, Xing · 林景全

Optics Express 2025

具体参数

最大光谱纯度: {'zh': '4.35', 'en': ''} %

技术优势

腔体限制靶材的光谱纯度随延迟增加衰减缓慢，仍与平面靶材的峰值相当