灵敏度提升超过 350 倍
利用静电耦合谐振器的非线性模态局域化效应，结合惯性杠杆放大机制，实现可调谐的动态响应，为超高灵敏度 MEMS 加速度计提供理论与实验框架。
Lyu, Ming · Zhikun, Zha · Yanmin, Zhang · Shengjie, Zhou · Yuheng, Quan · Feixuan, Wei · 赵剑 · Kacem, Najib
Communications in Nonlinear Science and Numerical Simulation 2026
利用幅度变化率而非频率变化率作为输出度量，非线性效应使得微小刚度扰动引发模态幅度的巨大变化，从而显著放大灵敏度。
模态局域化效应本身对参数失配高度敏感，且幅度变化率输出在非线性区对刚度扰动更敏感，降低了对超高Q值谐振器的依赖。
通过调节直流偏置电压和耦合电压，可以改变谐振器的工作点和耦合强度，从而调节灵敏度与线性范围，适应不同应用场景。