MoS₂ NEMS谐振器阵列

独立电子可调

采用质量转移印刷技术实现大规模、电子独立的二维MoS₂谐振器阵列，避免光刻导致的悬空结构坍塌，为二维NEMS器件集成提供新路径。

Liu, Zuheng · 袁帅 · Zhang, Yijian · Zhang, Pengcheng · Zhenggang, Cai · Liwei, Liu · 杨睿

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

谐振器数量

84

技术优势

避免光刻损伤

利用辅助液体表面张力精确撕裂MoS₂边缘，再干法转移至预图案衬底，避免了光刻工艺对悬空二维材料的坍塌或失效风险。

84个谐振器无串扰独立控制

对84个单层MoS₂谐振器进行独立交流激励和直流扫描，即使相邻器件也未观察到串扰，确保了阵列中每个器件的可寻址性。

芯片级逻辑电路演示

利用相邻且电隔离的谐振器，以栅压为输入、特定频率振幅为输出，实验实现了十进制到二进制的转换器功能。

应用场景

• MEMS/NEMS器件：提供大规模、电子独立的阵列制造方法，推动二维NEMS集成。
• 谐振式传感器：VHF频段可调频率和高信噪比适合高灵敏度质量或力传感。
• 二维材料集成：借助质量转移印刷实现与预图案衬底的无损集成。
• RF-MEMS：可独立调谐的VHF谐振器可用于射频滤波或信号处理。