多悬臂MEMS谐振器

阻抗低至28.6 kΩ

通过多悬臂机械耦合设计与双面驱动，在保持高Q值的同时大幅降低动阻抗，适用于超低功耗振荡器。

Haolin, Li · 杨清瑞 · Yuan, Yi · Shi, Shuai · 牛鹏飞 · Li, Quanning · Chen, Xuejiao · 张孟伦 · 庞慰

Micromachines 2024

具体参数

串联阻抗

{'zh': '28.6', 'en': ''} kΩ

技术优势

2.5 μm厚AlN薄膜被动层

与单悬臂相比显著降低动阻抗Rm，保持高Q和有效机电耦合系数Kt_eff^2