铂膜温度计

导航级温漂补偿

为MEMS谐振加速度计提供片上温度补偿方案，显著提升其在动态温度环境下的偏置和标度因数稳定性。

Shaohang, Wang · Yukun, Ma · Wenyi, Xu · 刘云峰 · 韩丰田

Journal of Micromechanics and Microengineering 2023

参数信息

工作温度范围

-40 °C

工作温度范围

60 °C

技术优势

片上测温更准

铂膜温度计直接溅射在玻璃基底上并集成于芯片，能准确感知谐振器的温度变化，比外部传感器更贴近实际热状态。

导航级稳定性

在-40℃至60℃范围内，四个原型器件的偏置和标度因数稳定性均大幅提升，达到导航级性能。

多种模型可选

论文对比了多项式拟合、卷积神经网络和支持向量回归三种改进漂移模型，可根据应用需求选择最合适的补偿算法。

应用场景

• MEMS惯性导航：为惯性导航系统提供导航级温度稳定性的加速度计，减少温控补偿系统的依赖。
• 加速度计温度补偿：替换传统外部测温方案，用片上铂膜温度计实现更精确的实时补偿。
• 智能传感器：使MEMS加速度计具备自感知温度并自动补偿的智能特性，输出更稳定。