扫描微镜

校准精度高

该扫描微镜校准方法通过PSO-LSSVM回归算法建立微镜偏转角与测量系统输出的对应关系,实现无需复杂物理模型的精确角度预测。

Yan, Liu · 程翔 · Tingting, Zhang · Yu, Xu · Weijia, Cai · 韩丰田

Micromachines 2024

参数信息

决定因子
0.9947

技术优势

精度高

模型在x轴的决定因子达到0.9947,表明预测角度与实际偏转角高度吻合。

免物理建模

该方法采用回归算法直接建立输入输出映射,无需推导复杂的物理模型。

适应性强

利用粒子群优化算法优化最小二乘支持向量机的参数,使模型能适应不同的工作条件。

应用场景