KDP晶体表面凸起缺陷

再现激光损伤演化

建立缺陷诱导的激光损伤爆炸模型，揭示凸起缺陷在强激光下的损伤机理，为超精密加工中抑制表面缺陷提供指导。

Ding, Wenyu · 陈明君 · 程健 · Liu, Henan · Zhao, Linjie · 阳郝 · Xumeng, Cheng · Liu, Zhichao · Xu, Qiao · Tan, Chao

International Journal of Mechanical Sciences 2023

技术优势

能预测损伤

建立的模型可以再现激光损伤的动态行为，从而揭示凸起缺陷的危害。

与实验吻合

模型再现的损伤特征（横向剥落和纵向裂纹）与激光损伤实验结果高度一致。

指导加工工艺

为超精密加工过程中抑制表面缺陷提供有效指导。

应用场景

• 激光损伤评估：用模型评估凸起缺陷的激光损伤风险，无需实打实验。
• 光学元件加工：根据模型指导改进加工，减少表面缺陷。
• 激光聚变装置：为聚变装置中KDP光学元件的损伤管控提供依据。
• 超精密加工：明确凸起缺陷的危害，从而在加工中针对性抑制。