三维HfO₂铁电电容

O相比例增20%

通过调控三维电容的应力方向，显著提高铁电O相比例并优化极化取向。

Wenqi, Li · Zhiliang, Xia · Fan, Dongyu · Yu-Xuan, Fang · 霍宗亮

Journal of Applied Physics 2024

参数信息

O相比例增量
20 %
法线方向极化投影增量
5 %

技术优势

O相比例提升20%

采用无填充的内TiN电极结构，轴向和切向应力增大，促进O相形成。

极化取向改善5%

实验中极化方向在法线方向的投影增加5%，有利于铁电性能。

应用场景