等效惯性力MEMS陀螺仪

自测标度因数

通过等效惯性力自检测实现标度因数原位标定与温度补偿，无需转台即可校准，长期重复性达1781 ppm，温漂降低20倍。

Rui, Zhou · Cui, Rang · 申冲 · 石云波 · Jingfeng, Yu · Ren, Yanchao · 曹慧亮

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025

参数信息

平均标定误差

5.608 %

长期自测重复性

1781.2 ppm

补偿前温度灵敏度

6689.7 ppm/°C

补偿后温度灵敏度

318.6 ppm/°C

技术优势

无需转台

通过反馈电极施加静电信号模拟惯性力输入，无需物理转台即可标定标度因数，降低了测试成本与复杂度。

温漂降低20倍

利用自测结果进行标度因数自补偿，-20 °C 至 +40 °C 内温度灵敏度由 6689.7 ppm/°C 降至 318.6 ppm/°C，显著提升温度稳定性。

应用场景

• 惯性导航与定位：定期自校准标度因数，保持导航精度，无需拆卸或外部转台。
• MEMS传感器校准：提供原位标定手段，简化校准流程，降低对精密设备的依赖。
• 物联网姿态感知：长期运行中自动补偿温漂，保持姿态测量精度，适合无人值守部署。
• 无人机航向控制：在飞行前或飞行中快速自检，确保航向控制所需标度因数准确。