TMAH处理GaN非极性面

沟道电流密度提升75%

通过TMAH湿处理形成特定棱镜形貌，显著提升a面沟道器件的电流承载能力。

Zhou, Jiaan · Tang, Wenxin · Ju, Tao · Wang, Heng · 于国浩 · Zhou, Xin · Zhang, Li Li · Zhang Xuan · 曾中明 · 张新平 · 张宝顺

ACS Applied Materials & Interfaces 2023

参数信息

cm VDS

10 V

技术优势

迁移率从2.0提升至2.9 cm²(V s)⁻¹