氢掺杂氧化铟薄膜

迁移率超100

氢掺杂同步降低氧空位浓度，减少载流子散射，实现高迁移率的透明导电薄膜。

Ciyu, Ge · Liu, Zunyu · Yongcheng, Zhu · 周宜荣 · Zhu, Jiaying · Yang, Xuke · Zhu, Yangjin · Yang, Shuyi · 胡浩军 · 宋海胜 · 李露颖 · 陈超 · 唐江

Small 2023

具体参数

载流子迁移率

>100 cm2 V-1

技术优势

高温 (>250°C) 时氢从薄膜中溢出