Si₃N₄波导边缘耦合器

插损低至1.13 dB/端

双波导边缘耦合器在120 µm内实现高约束波导与光纤的模式转换,解决了厚Si₃N₄波导小模场与光纤严重失配的难题。

Zilong, Tian · Ziyang, Xi · 马鹏飞 · 张涛 · 72079767 · Miao, Runlin · Yang, Dongsheng · Tan, Yinlong · 江天

Optics and Laser Technology 2026

参数信息

最小插入损耗
2.26 dB
有效端面损耗
1.13 dB/端
有效端面效率
77.1 %
损耗变化
1 dB
水平3-dB对准半宽
1.6 μm
垂直3-dB对准半宽
1.3 μm

技术优势

损耗够低

最小光纤-芯片-光纤插损2.26 dB,对应每端1.13 dB,耦合效率77.1%。

带宽够宽

在1500–1590 nm窗口内,有效端面损耗相对于最小值变化小于1 dB。

对准容易

输出侧TE偏振3-dB对准半宽在水平和垂直方向分别约为±1.6 μm和±1.3 μm。

结构紧凑

耦合器总长仅120 μm,适合片上集成。

应用场景