氧化铝基金刚石薄膜

超低摩擦

通过优化热丝化学气相沉积工艺，在氧化铝陶瓷表面获得高结晶度、超低摩擦系数的金刚石薄膜，解决了陶瓷表面润滑难题。

Zheng, Tongxiang · 张丽秀 · Wu, Yuhou · Cunyu, Zhao · Youyang, Li · Bai, Xu · Fei, Ge · 孙健

Diamond and Related Materials 2026

参数信息

硬度

27.2 GPa

弹性模量

412.0 GPa

摩擦系数

0.03

对偶球磨损率

5.41×10⁻⁵ mm³/(N·m)

基片表面温度标准差

3.5 °C

基片表面最大温差

22 °C

技术优势

摩擦系数极低

优化工艺制备的薄膜摩擦系数低至0.03，可显著减少摩擦能耗。

硬度高

薄膜硬度达27.2 GPa，能有效抵抗机械磨损。

对偶磨损小

对偶球磨损率低至5.41×10⁻⁵ mm³/(N·m)，延长配对件寿命。

应用场景

• 陶瓷耐磨涂层：超低摩擦和低磨损率有效保护陶瓷表面。
• 精密运动部件：降低摩擦系数，提升运动精度和寿命。
• 机械密封：低摩擦和低磨损特性有助于密封可靠性。
• 航天器润滑：在真空环境下提供低摩擦、耐磨损表面。