应变平衡超晶格

V/III比优化

一种通过精确控制V/III比实现高质量界面与应变平衡的GaInAs/AlInAs超晶格，为量子级联激光器工业化生长提供关键参考。

Shiya, Zhang · Zhu, Lianqing · Lu, Lidan · Jintao, Cui · Han, Jia · Shuhao, Du · 陈拓 · 李明宇

Optical Materials 2025

参数信息

最优V/III比

10

技术优势

表面更平整

V/III比为10时表面形貌最优，有利于后续工艺和器件性能。

内部质量高

该V/III比确保高质量内部结构，降低缺陷密度。

应用场景

• 量子级联激光器：直接用于QCL有源区生长，提升器件性能。
• III-V族外延：提供应变平衡超晶格生长校准参考。
• 中红外光源：高质量超晶格是中红外QCL的核心结构。
• 气体传感：中红外QCL是气体传感的理想光源。